創新點：

1、支持自動獲取數據在FE-SEM的觀察和分析中，需要根據測量樣品與需求調整觀察條件。調整所需時間的長短取決于用戶的操作熟練度，這是造成數據質量與效率差異的因素之一。此系列產品標配自動調整功能，可避免人為操作導致的差異。此外，隨著儀器性能的提升，需要獲取的數據種類與數量也在增加，手動獲取各種大量數據會大大增加用戶的作業負擔。此系列產品可選配“EMFlow Creator"，用戶可根據自身需求設定條件，自動獲取數據，這對于未來通過獲取大量數據實現數據驅動開發起到重要作用。

2、增加獲取信息的種類與數量通過SEM能夠收集到多種信號，且此系列產品可以同時顯示和存儲6個檢測器的信號。在減少圖像獲取次數的同時能夠獲取多種信息。此外，為一次性獲取大量信息，像素擴展到了40,960 x30,720（選配），是之前型號的64倍。利用這一功能，可憑借一張數據圖像有效評估多處局部的細微結構。 

3、增強信號檢測能力，SU8600開發了多個新型選配檢測器，加強了對凹凸信息、發光信息的檢測能力。此外，還提高了背散射電子信號檢測的響應速度。